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查看详情LPS140系列
    采用有铁芯直线电机BFM系列 高速度,高加速度 采用光栅尺或磁栅尺,分辨率可达0.1μm 定位精度可达5μm,重复定位精度可达2μm 可搭接XY平台 可安装多个滑台,并可分别控制 单轴总长度可达4000mm
查看详情LPS70模组
    1.有铁芯直线电机 BFM系列 2.高速度,高加速度 3.采用光栅尺或磁栅尺,分辨率可达0.1μm 4.定位精度可达5μm,重复定位精度可达2μm 5.可安装多个滑台,并可分别控制 6.单轴总长度可达3000mm
查看详情LPS2系列平台
    采用无铁芯直线电机BUM系列 高速度,高加速度 采用光栅尺或磁栅尺,分辨率可达0.1μm ​定位精度可达5μm,重复定位精度可达2μm
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